77777.aaaaaa,国产高清无码视频一二区在线播放,在线免费操批

搜索

熱門搜索：

代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機、NEWKON新光、TOKISANGYO東機產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.

產(chǎn)品中心

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> AMAYA天谷制作所> 半導體制造設(shè)備> 連續(xù)設(shè)備 AMAX1200>

產(chǎn)品詳情

查看大圖

產(chǎn)品名稱：日本AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備AMAX1200
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
產(chǎn)品文檔：

你添加了1件商品查看購物車

簡單介紹：

●12英寸~56張/時的吞吐量 ●采用SiC托盤的重金屬污染對策

詳情介紹：

特點

它是傳統(tǒng) AMAX 系列的*大直徑 12 英寸晶圓處理設(shè)備。

A63 型分散頭
中的 SiH 經(jīng)過優(yōu)化，可在低溫常壓下更有效地進行熱化學反應(yīng)4, PH3, B2H6和 O2分散后混合和表面反應(yīng)的后混合方法，
提供優(yōu)異的薄膜厚度均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。

SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發(fā)生。此外，由于熱量，工藝性能
穩(wěn)定，老化較少。

標準配備托盤自動更換功能，可縮短操作員的**性和維護時間。
此外，通過采用自動提升頭底座的機制，可以輕松進行
清潔。

性能

薄膜厚度均勻性

≦±3.0%

支持的晶圓尺寸

12 英寸

氣體種類

SiH4, O2, PH3, B2H6, N2

沉積溫度

350～430℃

生產(chǎn)力

~56張/小時

主要規(guī)格

設(shè)備尺寸 2165mm(W) x 4788mm(D) x 2250mm(H)

加熱機構(gòu) 電阻加熱

卸載機器人CtoC輸送

分散頭
（氣體噴嘴） A63 頭（標準 3 頭）

沈陽代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備AMAX1200

天津代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備AMAX1200

昆山代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備AMAX1200

上海代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備AMAX1200

蘇州代理AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備AMAX1200

產(chǎn)品留言

標題

聯(lián)系人

聯(lián)系電話

內(nèi)容

驗證碼

點擊換一張

注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!

蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號

產(chǎn)品名稱：日本AMAYA天谷制作所12 英寸連續(xù)常壓CVD設(shè)備AMAX1200

特點

性能

主要規(guī)格